太阳能电池转换效率提高1成 三菱电机TMmist装置潜力大

东芝三菱电机产业系统在母公司三菱电机的研究所协助下，开发出了通过将原料制成雾状来形成薄膜的雾化CVD（化学气相沉积）装置“TMmist”，使得太阳能电池的转换效率最大提高了1成。其将瞄准太阳能电池透明导电膜的成膜等用途，力争2014年度获得约10亿日元、2015年度获得约20亿日元的订单。
 
TMmist不仅能减少采用非真空工艺时较大的设置面积及初期投资，而且还可凭借无等离子体损伤这一点来提高基材薄膜的特性。其中，无等离子体损伤的良好效果得到了太阳能电池厂商的证实。有厂商报告称，其用于CIGS（Cu-In-Ga-Se）型太阳能电池的透明导电膜时，“转换效率最大提高了1成”。在良好的结果鼓舞下，已开始有太阳能厂商考虑导入试制机。
 
东芝三菱电机产业系统设想将雾化CVD装置用于CIGS型太阳能电池的透明导电膜用途，此外还考虑开拓有机EL等用途。作为TMmist最初的应用领域，东芝三菱电机产业系统选择的是今后市场有望增长的CIGS型太阳能电池的透明导电膜。而且今后该公司还将开拓其他用途，如显示器等使用的透明导电膜，以及使用有机原料的有机EL等。