日前下发的《国家支持发展的重大技术装备和产品目录(2019年修订)》和《重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录(2019年修订)》（下文称”免税清单“）信息显示，部分光伏、光热设备入选重大装备进口免税目录，对光伏领域太阳能电池生产设备免征关税和进口环节增值税。
“免税清单“的推出，反映国内光伏设备、材料市场需求变化过程，也侧面表现了光伏设备国产化的进程。在2019版”免税清单“中，免征进口税的产品为电池片环节生产所需的部分设备和所需的零部件、原材料，有以下4类光伏设备：
（1）等离子加强型化学气相沉积设备（PECVD）
（2）低压化学气相沉积设备（LPCVD）
（3）低压扩散炉
（4）原子层沉积设备（ALD）
来源：重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录（2018年修订）
对比往年的”免税清单“，一直处于缺失待定状态的太阳能发电设备终于名花有主，光热发电设备首次上榜录，19个一级部件进入重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录。清单的准入或许表明，光热发电需求风口即将到来。
来源：重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录（2019年修订）
回过头看“上榜”的光伏太阳能电池生产设备。近三年来（2017-2019），光伏零部件、原材料项目数减少了5成。
2018年，随着市场需求的变化和工艺的成熟，ALD技术优势和性价比得到设备商们的认同，开始成为光伏设备端市场的主角之一。同时”免税清单“中新增了ALD设备，免征税年限至2021年。
ALD设备供应商江苏微导表示，通过ALD沉积氧化铝钝化层的操作和维护费用可低至每片0.001美元。由于该技术的成本较低，以及钝化质量的增益，市场对ALD设备的需求不断提高。
然而今年韩华针对PERC技术提出的诉讼案，给使用ALD技术的企业带了风险。韩华专利多次提到ALD在电池片制造中的应用。如果国内光伏企业想把产品销往海外，就必须避开知识产权问题，这直接导致ALD的市场应用前景可能会受影响。
PECVD、LPCVD一直是免税对象，两种设备重要性显而易见。
PECVD是PERC工艺技术的升级所需要的核心设备，根据集邦咨询旗下新能源研究中心集邦新能源网（EnergyTrend）分析，2017年至今，PERC电池产能以年均增长150%的速度快速扩张，仅2018-2019年PERC增量近100GW。2019年PERC占电池片总产能比例超过75%，进一步成为市场主流产品，这背后的国产设备供应商可以说功不可没。
2017-2020年PERC电池产能发展趋势
来源：集邦咨询EnergyTrend报告
LPCVD是TOPCon 工艺技术的升级所需要的核心设备，TOPCon 作为PERC电池片技术的延伸，已成企业竞相布局的高效电池片技术路线之一。
目前中来光电已具有2.4GW的N型单晶双面钝化金属接触（TOPCon）电池产能和3.0GW的组件产能，量产的平均效率23%，最高转换效率可以达到23.4%。国内主推该技术的企业还有天合、林洋、晶科等，设备生产厂家主要为捷佳伟创。
光伏设备作为行业规模化发展的核心环节，过去数年间，通过产业链进口设备国产化、产能扩大形成规模经济效应、 产能转移至低成本地区等手段，促进光伏装机成本大幅下降。在当前硅片龙头中环、隆基大硅片技术布局下，供应链端协同机制不断健全、更新，对即将到来的2020年，光伏设备领域全新的国产化体系正加速形成。
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