近日，无锡松煜科技有限公司先后签订了近4亿TOPCon设备订单，包含ALD、硼扩、退火、LPCVD、PECVD等设备。其中ALD原子层沉积设备实现公司有史以来100GW订单突破。
超大产能是松煜ALD的强势优势，单面镀（对应116片花篮）产能可达22000pcs/H以上；此外松煜ALD特有的携源方式（TMA饱和蒸气压），避免了TMA的二次污染，保证进入反应腔室内TMA高纯（不含水蒸气），进而保证工艺的长期稳定性；松煜ALD采用特殊叠层钝化处理工艺，大大提高了TOPCon、IBC电池的钝化效果，且单、双面镀膜切换自由。
UPTIME低是硼扩散的致命问题，而松煜的硼扩散设备采取了炉口密封使用特殊材料特殊结构设计，实现了uptime可达98%。松煜热式炉原创特有的竖插方式，确保了设备的大产能以及在超高温超薄硅片上的弯曲度、掉片和碎片率优势；POLY方面，LPCVD石英管使用寿命延长也取得初步成果；PECVD-poly技术上，已掌握大批量数据并正在测试验证中。
松煜科技是一家集开发、生产、销售为一体的高速发展的光伏设备及半导体工艺设备专业制造商，本次近4亿元的光伏TOPCon设备大额订单彰显了客户对松煜公司产品的充分认可，也将进一步巩固和深化松煜科技与各电池片生产厂家的业务合作。未来，松煜科技将致力精益求精，更好地服务于广大客户。
来源：全球光伏
