近日,大陆理想能源设备公司研发的大陆首台薄膜太阳能电池关键生产设备--等离子体增强型化学气相沉积设备(PECVD)成功投入生产运作。
该设备采用创新的超高频射频技术,精密的真空和温度控制技术,快速的自动传输技术以及多腔多片的反应腔系统等,大大提高了产能。
薄膜太阳能电池生产设备复...  [详内文]
理想能源研发的大陆首台PECVD设备正式投入生产 |
作者 |发布日期 2011 年 01 月 10 日 13:42 | | 分类 产业资讯 |